晶圓快速退火爐₪•，瑞樂晶圓快速退火爐₪•，瑞樂晶圓快速退火爐RTP-150RL

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1.1 概要
RTP-150RL是在保護氣氛下的桌面式快速退火系統₪•，以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品₪•，工藝時間短₪•，控溫精度高₪•，適用最大6英寸晶片•₪。相對於傳統擴散爐退火系統和其他RTP系統₪•，其獨特的腔體設計•↟↟│、先進的溫度控制技術和獨有的RL900軟體控制系統₪•，確保了極好的熱均勻性•₪。
 
 
1.2 產品特點

•  紅外鹵素燈管加熱₪•，冷卻採用風冷

•  燈管功率PID控溫₪•，可精準控制溫度升溫₪•，保證良好的重現性與溫度均勻性

•  採用平行氣路進氣方式₪•，氣體的進入口設定在Wafer表面₪•，避免退火過程中冷點產生₪•，保證產品良好的溫度均勻性

•  大氣與真空處理方式均可選擇₪•，進氣前氣體淨化處理

•  標配兩組工藝氣體₪•，最多可擴充套件至6組工藝氣體

•  可測單晶片樣品的最大尺寸為6英寸（150×150mm）

•  採用爐門安全溫度開啟保護•↟↟│、溫控器開啟許可權保護以及裝置急停安全保護三重安全措施₪•，全方位保障儀器使用安全

 
1.3 RTP行業應用

•  氧化物•↟↟│、氮化物生長

•  矽化物合金退火

•  砷化鎵工藝

•  歐姆接觸快速合金

•  氧化迴流

•  其他快速熱處理工藝

•   離子注入啟用

行業領域↟◕₪✘：

•   晶片製造 生物醫學 奈米技術

•   MEMS LEDs 太陽能電池

•   化合物產業 ↟◕₪✘：GaAs₪•，GaN₪•，GaP₪•，

•   GaInP₪•，InP₪•，SiC

•   光電產業↟◕₪✘：平面光波導₪•，鐳射₪•，VCSELs

 
 
 
二•↟↟│、技術規格
2.1引數

 
 
 
 快速退火爐RTP-150RL可製作的產品
 

 
 
 
 
 
  快速退火爐RTP-150RL生產線一覽