我們專注於紅外退火爐,紅外退火爐裝置,紅外快速退火爐,紅外快速退火爐裝置,高溫快速退火爐,高溫快速退火爐廠家,太陽能多晶矽基片,太陽能多晶矽基片廠家
專業的紅外退火爐,紅外快速退火爐廠家專注於高溫快速退火爐◕₪▩、高溫快速退火爐裝置研發生產
全國諮詢熱線••↟:0757-82560052
聯絡我們

【 微信掃碼諮詢 】

0757-82560052

13702970020

您的位置••↟: 首頁>新聞中心>公司新聞

碳化矽快速退火爐◕₪▩↟╃,瑞樂碳化矽載盤簡介

作者••↟:admin 瀏覽量••↟:479 來源••↟:本站 時間••↟:2022-09-19 15:22:48

資訊摘要••↟:

碳化矽快速退火爐◕₪▩↟╃,碳化矽快速退火爐廠家◕₪▩↟╃,碳化矽快速退火爐生產廠家◕₪▩↟╃,瑞樂碳化矽快速退火爐₪₪▩₪✘。廣東瑞樂是專業的碳化矽快速退火爐廠家◕₪▩↟╃,專注於碳化矽快速退火爐研發和生產◕₪▩↟╃,歡迎諮詢₪₪▩₪✘。

瑞樂碳化矽載盤簡介

圖片1.png 

 

碳化矽載盤(也成碳化矽托盤)在半導體行業具有廣泛應用◕₪▩↟╃,CVD◕₪▩、RTP/RTA◕₪▩、真空濺射◕₪▩、刻蝕◕₪▩、蒸鍍◕₪▩、氣體沉澱等◕₪▩↟╃,如◕₪▩↟╃,在對襯底進行刻蝕時◕₪▩↟╃,需透過碳化矽載盤承載半導體襯底₪₪▩₪✘。

碳化矽載盤材質成分是純SiC(純度>99.9%)◕₪▩↟╃,與石墨基載盤相比◕₪▩↟╃,其使用壽命是後者的四倍◕₪▩↟╃,且長期使用不變形◕₪▩↟╃,穩定性好◕₪▩↟╃,能夠耐各種強酸強鹼化學試劑腐蝕(比如FH酸◕₪▩、濃H2SO4)₪₪▩₪✘。SiC載盤還具有優秀的導熱性◕₪▩、低膨脹係數◕₪▩↟╃,抗熱衝擊性佳◕₪▩↟╃,耐電漿衝擊性等特點₪₪▩₪✘。

碳化矽載盤是採用高純超細碳化矽微粉◕₪▩↟╃,透過靜壓工藝成型◕₪▩、2450高溫燒結而成₪₪▩₪✘。可根據使用者設計圖紙要求進行外徑◕₪▩、厚度尺寸◕₪▩↟╃,穴位數量◕₪▩、尺寸◕₪▩、取片槽位置和形狀進行精加工◕₪▩↟╃,以滿足使用者的具體使用要求₪₪▩₪✘。

8基本引數

 

內容

引數

Material:

Pure Silicon | SiC

Wafer Diameter:

100/125/150/200/300mm根據客戶要求定製

Wafer Thickness:

250~750um±25um根據客戶要求定製

Pocket Size & Shape:

根據客戶要求定製

Pocket Depth:

200~500um或視基盤厚度深度可調

Flat/or Notch:

Available

Others:

可加工異形槽◕₪▩、方形槽等;根據客戶設計要求定製

 

8主要優勢與特點

碳化矽載盤◕₪▩↟╃,可根據不同工藝其名稱不一樣◕₪▩↟╃,比如◕₪▩↟╃,碳化矽刻蝕盤◕₪▩↟╃,ICP刻蝕盤◕₪▩↟╃,LED刻蝕用碳化矽托盤(SIC托盤)等₪₪▩₪✘。其主要功能特點如下••↟:

耐高溫--1800℃溫度下正常使用;

高熱導性--和石墨材料的導熱性相當;

硬度高--硬度僅次於金剛石◕₪▩、立方氮化硼

耐腐蝕--強酸◕₪▩、強鹼對其無任何腐蝕◕₪▩↟╃,抗腐蝕性優於碳化鎢和氧化鋁;

重量輕--密度3.10g/cm3,與鋁接近;

不變形--極小的熱膨脹係數;

抗熱震--該材料可承受急劇的溫度變化◕₪▩↟╃,抗熱衝擊◕₪▩↟╃,耐急冷急熱◕₪▩↟╃,效能穩定₪₪▩₪✘。

 

8典型應用

·LED晶片製造中的RTP /RTA快速高溫熱處理工藝

·CVD◕₪▩、MOCVD◕₪▩、真空磁控濺射

·刻蝕◕₪▩、蒸鍍◕₪▩、氣體沉澱

 




碳化矽快速退火爐◕₪▩↟╃,碳化矽快速退火爐廠家◕₪▩↟╃,碳化矽快速退火爐生產廠家◕₪▩↟╃,瑞樂碳化矽快速退火爐₪₪▩₪✘。廣東瑞樂是專業的碳化矽快速退火爐廠家◕₪▩↟╃,專注於碳化矽快速退火爐研發和生產◕₪▩↟╃,歡迎諮詢₪₪▩₪✘。

線上客服
聯絡方式

熱線電話

13702970020

上班時間

週一到週五

公司電話

0757-82560052

二維碼
国产chinese实践打屁股3,秋霞影院18禁止进入免费,18末年禁止进入免费网站,无码精品a∨在线观看中文