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GaAs/GaN用快速退火爐的產品特點☁•▩╃▩：
1₪╃◕▩╃、控制電路採用模糊PID程式控制技術₪₪，控溫精度高₪₪，熱慣性小₪₪，無溫度衝擊₪₪，效能可靠₪₪，操作簡單☁·✘。
2₪╃◕▩╃、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能☁·✘。高真空系統採用高壓耐衝擊分子泵₪₪，防止意外漏氣損壞分子泵₪₪，延長系統使用壽命☁·✘。
GaAs/GaN用快速退火爐使用細節☁•▩╃▩：
1₪╃◕▩╃、爐子使用或長期不用後₪₪，應120℃烘烤1小時₪₪，300℃烘烤2小時₪₪，以免爐裂☁·✘。
2₪╃◕▩╃、爐溫儘量不要超過額定溫度₪₪，以免損壞加熱元件和爐襯☁·✘。
3₪╃◕▩╃、嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內₪₪，保持爐內清潔☁·✘。
4₪╃◕▩╃、如果在爐內使用石英管₪₪，當溫度高於1000℃時₪₪，石英管的高溫部分會出現不透明現象₪₪，稱為失透（也稱結晶）₪₪，是連續熔化石英管的固有缺陷₪₪，屬正常現象☁·✘。
5₪╃◕▩╃、冷爐在使用時₪₪，由於爐子是冷的₪₪，需要吸收大量的熱量₪₪，所以低溫段的升溫速度不易太快₪₪，各溫度段升溫速度的差異不容易太大☁·✘。設定升溫速度時₪₪，應充分考慮燒結材料的物理化學性質₪₪，以免出現噴濺汙染爐管的現象☁·✘。
6₪╃◕▩╃、定期檢查溫控系統電氣連線部分是否接觸良好₪₪，特別注意加熱元件的連線點是否緊固☁·✘。
7₪╃◕▩╃、GaAs/GaN用快速退火爐使用一段時間後₪₪，如果真空度下降₪₪，可以更換不鏽鋼法蘭盤之間的耐溫矽橡膠圈₪₪，或者重新安裝不鏽鋼法蘭盤₪₪，或者抽真空系統可以更換和維修₪₪，以提高系統的整體真空度☁·✘。
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