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真空快速退火爐中常用的幾種真空系統基本引數

作者✘│•↟│:admin 瀏覽量✘│•↟│:577 來源✘│•↟│:本站 時間✘│•↟│:2022-02-22 20:41:34

資訊摘要✘│•↟│:

真空快速退火爐中常用的幾種真空系統基本引數·✘◕。真空快速退火爐品種多◕✘,對真空系統的要求不一樣·✘◕。就真空度而言◕✘,有低真空◕✘·▩₪、中真空和高真空系統·✘◕。下面介紹幾種常用的真空快速退火爐真空系統·✘◕。

真空快速退火爐中常用的幾種真空系統基本引數


真空快速退火爐品種多◕✘,對真空系統的要求不一樣·✘◕。就真空度而言◕✘,有低真空◕✘·▩₪、中真空和高真空系統·✘◕。下面介紹幾種常用的真空快速退火爐真空系統·✘◕。

1.低真空系統
它適用於真空度在1333~2Pa範圍的真空熱處理爐◕✘,如預抽低真空井式爐·✘◕。大多以油封式旋轉機械泵為主泵的系統·✘◕。
2.中真空系統
它適用於真空度在1.333~3×10Pa範圍的真空熱處理爐·✘◕。中真空系統在真空熱處理爐中應用最廣泛◕✘,其通常有兩級真空泵機組組成·✘◕。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵◕✘,主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵·✘◕。
3.高真空系統
它適用於真空度在1.333×1O~6.6×10Pa範圍的真空熱處理爐◕✘,如真空退火爐◕✘·▩₪、真空釺焊爐·✘◕。其通常有三級真空泵機組組成◕✘,主泵通常採用油擴散泵◕✘·▩₪、離子泵◕✘,初級泵大都也是採用旋轉機械泵或滑閥式機械泵◕✘,前級泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵·✘◕。
真空系統的基本引數
真空熱處理爐的真空系統主要引數有極限真空度◕✘·▩₪、工作真空度◕✘·▩₪、抽氣時間◕✘·▩₪、抽氣速率◕✘·▩₪、漏氣率(壓升率)·✘◕。
極限真空度真空爐在空爐◕✘·▩₪、冷態下所能達到的最高真空度稱為極限真空度·✘◕。極限真空度是考核真空爐各零部件的加工和裝配質量◕✘·▩₪、真空機組的抽氣能力與極限真空◕✘·▩₪、爐體的密封與漏氣和真空衛生情況的重要指標·✘◕。通常◕✘,真空爐的極限真空度應低於主泵一個數量級左右·✘◕。


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