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gaas快速退火爐•✘▩☁、GaAs快速退火爐使用注意細節

作者₪·✘│·:admin 瀏覽量₪·✘│·:262 來源₪·✘│·:本站 時間₪·✘│·:2022-09-17 13:36:20

資訊摘要₪·✘│·:

gaas快速退火爐•✘▩☁、GaAs快速退火爐使用注意細節₪│。今天瑞樂半導體科技有限公司小編為你整理分享gaas快速退火爐•✘▩☁、GaAs快速退火爐使用注意細節₪↟▩₪☁,希望對你有所幫助╃│↟!

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GaAs快速退火爐的產品特點₪·✘│·:

  1•✘▩☁、控制電路採用模糊PID程式控制技術₪↟▩₪☁,控溫精度高₪↟▩₪☁,熱慣性小₪↟▩₪☁,無溫度衝擊₪↟▩₪☁,效能可靠₪↟▩₪☁,操作簡單₪│。
  2•✘▩☁、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能₪│。高真空系統採用高壓耐衝擊分子泵₪↟▩₪☁,防止意外漏氣損壞分子泵₪↟▩₪☁,延長系統使用壽命₪│。
 

GaAs/GaN用快速退火爐

 

  GaAs快速退火爐使用細節₪·✘│·:
  1•✘▩☁、爐子使用或長期不用後₪↟▩₪☁,應120℃烘烤1小時₪↟▩₪☁,300℃烘烤2小時₪↟▩₪☁,以免爐裂₪│。
  2•✘▩☁、爐溫儘量不要超過額定溫度₪↟▩₪☁,以免損壞加熱元件和爐襯₪│。
  3•✘▩☁、嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內₪↟▩₪☁,保持爐內清潔₪│。
  4•✘▩☁、如果在爐內使用石英管₪↟▩₪☁,當溫度高於1000℃時₪↟▩₪☁,石英管的高溫部分會出現不透明現象₪↟▩₪☁,稱為失透(也稱結晶)₪↟▩₪☁,是連續熔化石英管的固有缺陷₪↟▩₪☁,屬正常現象₪│。
  5•✘▩☁、冷爐在使用時₪↟▩₪☁,由於爐子是冷的₪↟▩₪☁,需要吸收大量的熱量₪↟▩₪☁,所以低溫段的升溫速度不易太快₪↟▩₪☁,各溫度段升溫速度的差異不容易太大₪│。設定升溫速度時₪↟▩₪☁,應充分考慮燒結材料的物理化學性質₪↟▩₪☁,以免出現噴濺汙染爐管的現象₪│。
  6•✘▩☁、定期檢查溫控系統電氣連線部分是否接觸良好₪↟▩₪☁,特別注意加熱元件的連線點是否緊固₪│。
  7•✘▩☁、GaAs/GaN用快速退火爐使用一段時間後₪↟▩₪☁,如果真空度下降₪↟▩₪☁,可以更換不鏽鋼法蘭盤之間的耐溫矽橡膠圈₪↟▩₪☁,或者重新安裝不鏽鋼法蘭盤₪↟▩₪☁,或者抽真空系統可以更換和維修₪↟▩₪☁,以提高系統的整體真空度₪│。


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