gaas快速退火爐││•│、GaAs快速退火爐使用注意細節☁·。今天瑞樂半導體科技有限公司小編為你整理分享gaas快速退火爐││•│、GaAs快速退火爐使用注意細節▩✘◕│╃,希望對你有所幫助·↟✘₪│!
GaAs快速退火爐的產品特點₪☁:
1││•│、控制電路採用模糊PID程式控制技術▩✘◕│╃,控溫精度高▩✘◕│╃,熱慣性小▩✘◕│╃,無溫度衝擊▩✘◕│╃,效能可靠▩✘◕│╃,操作簡單☁·。
2││•│、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能☁·。高真空系統採用高壓耐衝擊分子泵▩✘◕│╃,防止意外漏氣損壞分子泵▩✘◕│╃,延長系統使用壽命☁·。
GaAs快速退火爐使用細節₪☁:
1││•│、爐子使用或長期不用後▩✘◕│╃,應120℃烘烤1小時▩✘◕│╃,300℃烘烤2小時▩✘◕│╃,以免爐裂☁·。
2││•│、爐溫儘量不要超過額定溫度▩✘◕│╃,以免損壞加熱元件和爐襯☁·。
3││•│、嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內▩✘◕│╃,保持爐內清潔☁·。
4││•│、如果在爐內使用石英管▩✘◕│╃,當溫度高於1000℃時▩✘◕│╃,石英管的高溫部分會出現不透明現象▩✘◕│╃,稱為失透(也稱結晶)▩✘◕│╃,是連續熔化石英管的固有缺陷▩✘◕│╃,屬正常現象☁·。
5││•│、冷爐在使用時▩✘◕│╃,由於爐子是冷的▩✘◕│╃,需要吸收大量的熱量▩✘◕│╃,所以低溫段的升溫速度不易太快▩✘◕│╃,各溫度段升溫速度的差異不容易太大☁·。設定升溫速度時▩✘◕│╃,應充分考慮燒結材料的物理化學性質▩✘◕│╃,以免出現噴濺汙染爐管的現象☁·。
6││•│、定期檢查溫控系統電氣連線部分是否接觸良好▩✘◕│╃,特別注意加熱元件的連線點是否緊固☁·。
7││•│、GaAs/GaN用快速退火爐使用一段時間後▩✘◕│╃,如果真空度下降▩✘◕│╃,可以更換不鏽鋼法蘭盤之間的耐溫矽橡膠圈▩✘◕│╃,或者重新安裝不鏽鋼法蘭盤▩✘◕│╃,或者抽真空系統可以更換和維修▩✘◕│╃,以提高系統的整體真空度☁·。