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全自動快速退火爐
一₪☁│₪☁、技術規格
2.1引數
RTP-DTS | |
最大產品尺寸 | 最大處理300×300mm 相容4寸4片（可相容4寸9片）或6寸4片 |
機臺尺寸 | 2200×2300×2050（寬×深×高） |
Cassette Ports | 4個 |
腔體數量 | 雙爐體 |
溫度範圍 | 室溫~1250℃ |
溫度測量 | K型熱電偶 紅外高溫計可選 |
最高升溫速度 | ≤100℃/s可程式設計（此溫度為不含載盤的升溫速度） ≤25℃/s（SiC載盤） |
溫度均勻度 | ±5℃≤500℃ ±1%＞500℃ |
溫度控制重複性 | ±1℃ |
恆溫持續時間 | 可依據要求程式設計 |
溫控方式 | 快速PID溫控 |
降溫速度 | 約200℃/min（1000~400℃）不可程式設計 |
腔體設計 | 可配置大氣常壓腔體或者真空腔體 |
真空泵 | 配備真空系統 |
真空度控制方式 | APC自動壓力控制系統·◕，實現恆壓控制 |
Robot | 晶圓Robot |
腔體冷卻方式 | 水冷腔體·◕，獨立水冷源控制冷卻 |
工藝氣體 | MFC控制·◕，三路氣體（可選N2 / O2 / GN2） |
控制方式 | 工業電腦+PC control |
無塵等級 | Class 100 |
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